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激光清洗的分類和方法

2018/8/30

依據基底材料的特性、基底表面的精度、表面粗 糙度及微粒污染物的種類,可以將目前的激光清洗方法分成以下兩大類。 

1)激光干式清洗法。激光直接照射在物體表面,污染微?;虮砻嫖漳芰亢?,通過熱擴散、光分解、氣化等使微粒離開表面。

2)激光濕式清洗法。在欲清洗的材料表面噴上一些無污染的液體(主要是水,有時也采用酒精),然后用激光照射,液體介質吸收激光能量后,產生爆炸性汽化,把其周圍的污染微粒推離材料表面。 此外還有人提出了所謂的激光復式清洗法。激光能量被基底材料吸收,然后通過熱對流,把吸附的中間介質加熱,中間介質產生爆炸性汽化,在高氣流的推動下,微粒隨同中間介質一起脫開基底表面。